Industrial Clean Room 개요

Industrial Clean Room (산업용크린룸)은 반도체 산업 뿐만 아니라 정밀기기,광학기기,자기테이프나 사진용필름,식품의포장재등을 제조,생산하는 시설에 외부로부터 부유먼지등이 제품에 영향을 미치치 못하도록 시설전체를 오염구역,준청정구역,청정구역등으로 구분하여 구성하며 각각구성된 구역마다 오염원을 차단할수있는시설을 설치하여 생산된 제품이 정상적인 상태에서 출하 할 수 있도록 한다. 따라서 크린룸 시설,교육,운영의 3가지요소를 철저히 관리하여야한다.

 CTM(Clean Tunnel Module) System

생산시설의 Lay-out이 Bay방식으로 되는 경우는 FAN, Filter 및 Cooling Coil에 조화된 Tunnel Module을 설치하여 원하는 청정도 및 온습도를 얻는 방식입니다.공기순환 동력비가 타 방식에 비해 가장 적은 청정도입니다. 공기순환 방식이 Local 순환이므로 각 Bay에서 사용하는 약품이 인접 Bay 에도 영향을 미치기 때문에 Cross-Contamination의 문제가 있지만 터널 크린룸시스템은 전체면 Down Flow Clean Room과 비교하여 설비비, 운전비 모두 줄일 수 있습니다. 또 초고청정도를 유지할수 있고 ±0.1℃의 초정밀온도 Control도 가능합니다.

 Open Bay System

전면층류방식으로 Class100이상 고청정 Super C/R에 적용 하며 Ceiling 전체를 ULPA filter 또는 HEPA Filter를 배치하고 대형 Fan을 이용하여 청정공기를 순환하는 방식입니다. 순환계통은 Axrial Fan / Cooling Coil / Sound Attenuator 등으로 구성되며 국내외 대형반도체 공장에 많이 적용됩니다.

 FFU(Fan Filter Unit)System

소형 순환 Fan Unit와 ULPA 또는 HEPA Filter 를 조합한 다수의 FFU를 천정에 설치하여 청정공기를 순환시키는 방식입니다. 설치면적의 절약 및 경제성으로 최근 Class1이상 Super C/R뿐만 아니라 저급 크린룸까지 다양한 용도로 폭넓게 적용되고 있습니다.